杜邦高性能彈性體(DuPont PerformanceElastomers(DPE))與來(lái)自德州奧斯汀的Spansion公司合作以評(píng)估一種專(zhuān)門(mén)用于提高半導(dǎo)體制造設(shè)備無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間的全氟彈性體產(chǎn)品-O形環(huán)。其令人震驚的產(chǎn)品性能促使Spansion公司對(duì)其預(yù)防性設(shè)備維護(hù)(PM)進(jìn)度表作出變化，從而提高產(chǎn)量并降低制造成本。

　　目前在Fab25生產(chǎn)線上運(yùn)行的HDPCVD設(shè)備生產(chǎn)中所遇到的問(wèn)題是工藝氣體(SiH4, O2,He)和清潔化學(xué)品(NF3和O2兩步等離子處理)兩者所造成的腐蝕性加工環(huán)境。來(lái)自密封腐蝕和壓縮形變的高粒子數(shù)和滲漏將會(huì)造成在IMD和STI工藝中出現(xiàn)密封故障。設(shè)備維護(hù)進(jìn)度表的周期為90天但是密封故障往往在30至60天內(nèi)發(fā)生。因此O形環(huán)的性能與機(jī)械性和等離子腐蝕的化學(xué)攻擊密切相關(guān)。

　　Spansion公司轉(zhuǎn)向杜邦高性能彈性體公司以尋求更多的材料選擇從而提高產(chǎn)品的密封時(shí)間以及產(chǎn)生較少的粒子。**的填料和交聯(lián)結(jié)構(gòu)對(duì)解決此問(wèn)題的適用技術(shù)至關(guān)重要。在參照了規(guī)格書(shū)和測(cè)試結(jié)果之后對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行了改性，并將制造的Kalrez?9100部件與其它競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品進(jìn)行比較。結(jié)果表明Kalrez?9100在任何條件下均比所有競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品更加優(yōu)異。正如Spansion公司所進(jìn)行的擴(kuò)展評(píng)估測(cè)試所表明的一樣，所得到的產(chǎn)品表現(xiàn)出了較低的密封腐蝕，產(chǎn)生較少的粒子以及較好的彈性回復(fù)特性。其關(guān)鍵部件的壽命得到了大幅度延長(zhǎng)。